Fabrication and tolerance reduction of a Si-based pickup module for optical storage

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题名:	Fabrication and tolerance reduction of a Si-based pickup module for optical storage
作者:	Lee,Chien-Chieh;Wang,Chih-Ming;Huang,S. K.;Chang,J. Y.;Chi,Gou-Chung;Hsu,S. C.;Liu,C. Y.
贡献者:	光電科學研究中心
关键词:	DISK PICKUP
日期:	2006
上传时间:	2010-07-07 15:49:26 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	We develop a miniaturized optical signal pickup module, with a working wavelength of 650 nm, and an image numerical aperture (NA) of 0.6, comprised of several SiNX optical phase elements on stacked Si substrates, for use in optical storage systems. The op
關聯:	OPTICAL ENGINEERING
显示于类别:	[光電科學研究中心] 期刊論文

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