300mm晶圓廠自動倉儲(stocker)之晶舟選取運送法則的研究; A Study on the Load-Selection Problem of Inter-Bay OHSs in a 300mm Wafer Fab

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题名:	300mm晶圓廠自動倉儲(stocker)之晶舟選取運送法則的研究;A Study on the Load-Selection Problem of Inter-Bay OHSs in a 300mm Wafer Fab
作者:	梁國鋒;Guo-Feng Liang
贡献者:	工業管理研究所
关键词:	自動化物料搬運系統;加工中心;晶舟;無人搬運車;自動化倉儲;AMHS;interbay;intrabay;cassette;OHS（Overhea
日期:	2005-07-04
上传时间:	2009-09-22 14:15:22 (UTC+8)
出版者:	國立中央大學圖書館
摘要:	根據Meyersdof and Taghizadeh在1998研究指出有效的晶圓廠佈置規劃可以的提升晶舟搬運效率，另外也可以降低製造成本10%~30%。所以近年來學者也紛紛投入如何有效提升晶圓廠晶舟搬運效率的相關研究，在探討晶圓廠的物料搬運方面，以往學者大都著墨在：（1）增加車輛數（2）增加車速（3）增加車的載量（4）增加軌道圈數等四種方式來提升物料搬運的效率。也有某些研究在探討晶圓廠自動倉儲（stocker）的相關議題，而自動倉儲（stocker）的設立在晶圓廠扮演著舉足輕重的角色，不但具有晶舟的暫存功能，尚有轉運的功能。過去研究者在探討stocker的研究大抵可分為以下幾點：（1）stocker內的設計（2）stocker的佈置規劃（layout design）（3）stocker的設立數目（4）有無設立stocker等問題，反而較少著墨於晶舟如何揀取的問題。故不論stocker如何設立若沒有一個好的控制機制，反而會使公司花費龐大的設備投資成本而不見相對的報酬，也因此一但公司花了一筆投資成本在stocker的設置時，若有好的設計、良好的規劃、恰當的設立數目時，沒有設計好的揀取運送法則，則這些設備的投資無疑對公司的利潤不增反減。由此可知控制機制做得好的話，公司或許可以不必平白花費這些冤枉錢，而能得到與購買設備同樣的績效。有薦於在晶圓廠的自動倉儲(stocker)如何去有效的選取運送方面悉有學者著墨。本論文廣羅晶圓廠方面相關的知識如：晶圓廠自動化物料搬運系統、晶圓廠佈置規劃並採用無人搬運車系統的設計概念，試著以Arena4.0建構出利用stocker來連結各加工中心間（interbay）具有雙軌道每個軌道依循單方向及具有雙載量的車輛（Overhead Shuttle；OHS）來載取晶舟的晶圓廠封閉式系統製造環境，以探討晶舟如何更有效的在加工系統中被車輛揀取。　當搬運車來到各加工區域(Bay)的stocker時，而在stocker等待搬運車載取的眾多晶舟中要選取那個工件上車，故本研究分別探討系統中不同忙碌程度，也就是在執行晶舟的加工時，將系統的在製品數（WIP）固定一個定值，待一個工件完成加工作業後另一個工件才能再進入，這也是上述所提的封閉式系統概念。本研究利用六種系統忙碌的程度，其分別為：20、30、50、100、150、250，並在不同忙碌程度下比較所提八種晶舟選取運送法則，搭配Lin等人於2001所提出最佳的車輛控制方法：先遇到先服務法（First encounter first served；FEFS），再利用Arena4.0模擬工具進行系統模擬，進而驗証出那些法則在本研究的環境假設下對所提的五種績效指標有較好的績效。 According to Meyersdof and Taghizadeh in 1998 to bring up the efficiency of cassette moving through efficient layout design which can decrease the cost of manufacturing 10%~30%. Recently there are some scholars to research the related issues of improving Wafer Fab material handling system which focus on increasing vehicle numbers, increasing vehicle speed, increasing vehicle capacities and increasing the number of tracks and some scholars to research the issues of stocker in Fab. The stocker which provides cassette to temporarily stock and transfers to another bay is playing an important role in Fab. In the past about the researches of stocker, the mostly researchers focus on the design of stockers, the layout of stockers, the number of stockers, has established stockers. On the contrary the problems of what is the order to pick up the cassettes in stocker are lack of. Whatever the company sets up stockers, it has not fluent controlling-dispatching may lead to invest fund but not to achieve an objective of company. The paper adopts the concepts of AGV（Automated Guided Vehicle） to design automated material handling system in Fab which has double tracks to link interbay and double capacities in OHS（Overhead Shuttle）. We develop picking up rules to improve the efficiency of cassette moving in closed system and we also control different WIP levels in this system. To collocate eight picking up rules and six WIP levels can acquire forty-eight combinations. Finally we exploit simulation tool Arena4.0 to find out which combination is better in measurement criterion and exploit Little’s Law principle to verification our results.
显示于类别:	[工業管理研究所 ] 博碩士論文

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